Razvoj elektrarne kisika VPSA

Leta 1891 je nemško podjetje Linde začelo delati na utekočinjenju zraka v laboratoriju podjetja za proizvodnjo hladilnih strojev.
Leta 1895 je profesor Linde izdelal prvo napravo s tekočim zrakom z uporabo Joule-Thomsonovega učinka.
Leta 1901 je Linde v Münchnu ustanovil tovarno za proizvodnjo kriogene opreme.
Leta 1902 je bila dokončana oprema za ločevanje zraka za prvi enostopenjski rektifikacijski stolp, ki ga je zasnoval Linde. Francoski Kraut je izumil ekspanzijski stroj in v Parizu ustanovil podjetje Air Liquefaction.
Leta 1903 je Linde izdelal prvi industrijski generator kisika 10 m3/h z uporabo visokotlačnega procesa dušenja.
Leta 1910 je Francija izdelala prvi generator kisika s 50 m3/h s srednjetlačnim postopkom z batnim ekspanzijskim strojem.
Leta 1920 je Hyland v Nemčiji izumil visokotlačni postopek za proizvodnjo tekočega kisika z visokotlačnim ekspanzijskim strojem.
Leta 1924 je Frankel predlagal, da bi morali v velikih napravah za ločevanje zraka namesto običajnih izmenjevalnikov toplote uporabiti hladilnike, polnjene s kovino.
Leta 1926 je Frankel predlagal običajni akumulator hladu.
Leta 1930 je Linde izdelal prvo industrijsko enoto Linde Frankel z zmogljivostjo 255 m3/h in čistostjo 99,5 odstotka O2.
Leta 1932 je bil turboekspander prvič uporabljen na enoti Linde-Frankel. Kisik so prvič uporabili v metalurgiji in sintezi amoniaka v Nemčiji.
Leta 1939 je Sovjetska zveza ustvarila visoko učinkovit turboekspander in začela preučevati celotno nizkotlačno opremo za ločevanje zraka.
Leta 1947 se je Linde posvetil industrijski opremi za proizvodnjo kisika s polnim spodnjim tlakom. Sovjetska zveza je začela načrtovati velike industrijske kisikove naprave s popolnoma nizkotlačnimi procesi.
Leta 1949 so ZDA prvič v generatorju kisika 29000m3/h uporabile toplotni izmenjevalnik za upogibanje plošč.
Leta 1952 je Avstrija za izdelavo jekla prvič uporabila pretvornik z zgornjim vpihovanjem čistega kisika, kar je povzročilo močno povečanje metalurškega kisika.
Leta 1955 so ZDA pospešeno razvijale rakete in kot pospeševalnik porabile veliko količino tekočega kisika.
Leta 1957 je bil izdelan prvi avtomatski generator kisika s kapaciteto 120 ton/dan.
Leta 1960 je Japonska dokončala 10000 m3/h99,6 odstotka O2 in 10000 m3/h99,99 odstotka N2 dvojno visoko čistost, obsežno polno nizkonapetostno opremo.
Leta 1972 je Francija izdelala največjo zmogljivost opreme za ločevanje zraka s čistim kisikom na svetu: 1700 ton/dan O2 in 1500 ton/dan N2.
Večje enote so še v preučevanju.