
PSA generator kisika za polprevodnika
Opis
Tehnične parametre
Zakaj polprevodniška industrija potrebuje generatorje PSA kisika?
Dobava plina visoke čistosti:Proizvodnja polprevodnikov ima stroge zahteve glede čistosti plina, kisik z visoko čistostjo pa je nepogrešljiv za litografijo, čiščenje in druge povezave. S pomočjo adsorpcijske tehnologije tlačne nihanja PSA generator kisika proizvede kisik s čistostjo 95%± 3%, kar ustreza zahtevam tvorbe oksidne plasti in čiščenja rezin in se izogne tveganju za nečistoče kontaminacije tradicionalne oskrbe s kisikom s cilindrom.
Zagotoviti stabilnost procesa:Polprevodniške proizvodne linije zahtevajo neprekinjeno in stabilno oskrbo s plinom. PSA generator kisika uporablja dvojne adsorpcijske stolpe za izmenično delo in s PLC inteligentnim nadzorom lahko doseže 24- uro neprekinjene oskrbe s kisikom, se izogne motnji proizvodnje, ki jih povzroča ročna zamenjava steklenic, in se prilagodi procesom, občutljivim na zračni tlak, kot so deponiranje zračnega tlaka in ething.
Zmanjšajte stroške in optimizirate prostor:V primerjavi s tekočimi rezervoarji za kisik in visokotlačnimi plinskimi jeklenki PSA proizvajajo kisik na kraju samem, kar močno zmanjša stroške prevoza in skladiščenja. Ima majhen odtis in podpira modularno širitev, ki ustreza potrebam po maksimiranju uporabe prostora v čistih delavnicah polprevodniških tovarn. Dolgoročni stroški uporabe so za približno 20% nižji od tradicionalne metode.
Prilagodite se posebnim procesom:V naprednih procesih nekateri posebni procesi zahtevajo natančen nadzor koncentracije kisika. Generator PSA kisika lahko prilagodljivo prilagodi čistost kisika (95%-99. 9%) s prilagajanjem adsorpcijskega tlaka in molekularnega sita, da ustreza posebnim zahtevam procesa proizvodnje 3D Nand Flash pomnilnika.
Okolju prijazen in enostaven za vzdrževanje:Tehnologija PSA ne potrebuje kemičnih reagentov, proces proizvodnje kisika pa ne oddaja škodljivih snovi, kar ustreza standardom varstva okolja v industriji polprevodnikov. Oprema uporablja molekularne site iz nerjavečega jekla s hrano in samočiščeno, z vzdrževalnim ciklom do 3-5 let in je primerna za proizvodno okolje rezin z visokim čiščenjem.

| kategorija | Podrobnosti o parametrih |
| Čistost kisika | 93% -99. |
| Izhodni tlak | 0. 5-1. |
| Območje pretoka | 10-5000 nm³/h (podpira vzporedno širitev več enot) |
| Točka rosa | Manj kot ali enaka -70 stopnji (da prepreči, da bi vodna para onesnažila procesno okolje) |
| Energetska učinkovitost | Manj kot ali enako 0. 38KWh/nm³ (visoko učinkovito |
| Nivo hrupa | Manj kot ali enaka 65 dB (nizka vibracijska struktura + zvočna izolirana lupina, v skladu s standardi čistega prostora razreda 1000) |
Temeljne prednosti generatorja PSA kisika

Ultra visoko garancijo čistosti
Dvoplastna molekularna sita in katalitična oksidacijska enota se uporabljata za globoko odstranjevanje nečistoč, kot so ogljikovodiki in Co₂, čistost kisika pa doseže več kot 99,5%, pri čemer izpolnjujejo standard F20 F20. Vgrajen spletni analizator v realnem času, sinhronizacija podatkov s tovarniškim sistemom SCADA, da se zagotovi stabilnost procesa.
Inteligenten nadzor in odvečen dizajn
Integrirani krmilni sistem PLC+HMI, podpira oddaljeno spremljanje, samodiagnozo napak in preklop v sili (odvečna adsorpcija z dvojnim stolpom). Tehnologija samodejnega kompenzacije tlaka za obvladovanje trenutne potrebe po visokem pretoku po polprevodniški opremi.
Raztopina za varčevanje z energijo z nizkim ogljikom
VPSA (vakuumska tlačna nihajna adsorpcija) Sinergistična tehnologija zmanjšuje porabo energije in prihrani 15% -20% energije v primerjavi s tradicionalnim PSA.optionalnim modulom za predelavo odpadne toplote za zmanjšanje toplotne obremenitve delavnice.
Združljivost čiste sobe
Ves kanal pretoka iz nerjavečega jekla + nano prevleka, da se prepreči kontaminacija kovinskih ionov; Zero Leage Tesnilna zasnova, prenesena ISO 8573-1 razred 0 certifikacija.
Vrste rastlin PSA kisika

Modularna oprema

Oprema dvojnega stolpa

Zabojniška oprema
| NTK95 Series PSA Izbira generatorja kisika | ||||||
| Ne bi | Modeli | Sposobnost (Nm3/h) |
Čistost | Poraba energije 1NM3 proizvedeni kisik (KW/H) |
Število steklenic Floled v 12 urah (osebni računalniki) |
Potreben operater |
| 1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Pogosta vprašanja
1. Kako visoka je lahko čistost kisika in ali izpolnjuje zahteve za izdelavo polprevodnikov?
Naš PSA generator kisika za polprevodnike lahko rutinsko proizvaja kisik s čistostjo 95%± 3%. Za nekatere procese, ki zahtevajo izjemno visoko čistost kisika, lahko s prilagajanjem parametrov opreme čistost izhoda kisika prožno nadzoruje v območju 95% - 99.
2. Kako stabilna je oprema in ali lahko zagotovi neprekinjeno delovanje proizvodne linije polprevodnikov?
Oprema sprejme dvojni adsorpcijski stolp izmenično delovni način v kombinaciji z inteligentnim krmilnim sistemom PLC, da doseže 24- uro neprekinjeno in stabilno oskrbo s kisikom. Ta samodejni način delovanja se izogne prekinitvam oskrbe s plinom, ki jih povzroča ročna zamenjava steklenic, zagotavlja zanesljivo in stabilno oskrbo s plinom za procese, kot sta nalaganje tankega filma in jedkanje, ki so občutljivi na zračni tlak, in učinkovito zmanjšuje tveganje za proizvodne prekinitve, ki jih povzročajo težave z oskrbo s plinom.
3. Kakšni so stroški uporabe v primerjavi s tradicionalnimi metodami oskrbe s kisikom?
V primerjavi s tekočimi rezervoarji za kisik ali visokotlačnimi plinskimi jeklenki, naš PSA generator kisika sprejme način proizvodnje kisika na kraju samem, kar močno prihrani stroške prevoza in shranjevanja kisika. Oprema zaseda majhno območje in jo je mogoče modularno razširiti, kar zmanjšuje stroške izposoje mesta. Dolgoročno so stroški za približno 20% nižji od tradicionalne metode oskrbe s kisikom, ki znatno prihrani obratovalne stroške.
4. Ali je vzdrževanje opreme zapleteno? Kako dolgo je cikel vzdrževanja?
Oprema je enostavno vzdrževati z uporabo nerjavečega jekla in samočiščanja molekularnih sitov, ki močno zmanjša vzdrževalno delovno obremenitev. V normalnih okoliščinah je vzdrževalni cikel toliko, kolikor je 3-5 leta, in opremljeni smo s profesionalno ekipo po prodaji, da kadar koli zagotovimo tehnično podporo, ki vam bo pomagala rešiti težave med delovanjem opreme.
Ukvarjajte zdaj, da pritrdite svojo dobavno verigo kisika
✅ Prilagojene rešitve:
Povejte nam zmogljivost postelje in največje povpraševanje po prilagojenem predlogu.
✅ Hitra dostava:
Vnaprej zasnovani moduli, odposlani v 8-12 tedni.
✅ Možnosti financiranja:
Na voljo so načrti za najem.
Telefonska številka
+86 15888864725
WhatsApp številka
+86 15888864725
E-pošta
sales@newtek-group.com

Priljubljena oznake: PSA generator kisika za polprevodnik, Kitajski PSA generator kisika za polprevodnik, dobavitelji, tovarna
Pošlji povpraševanje
Stopite v stik
Napišite svoje sporočilo














